正航儀器旋片式真空泵
時間：2015-09-01 作者：正航儀器 點擊:次
正航儀器旋片式真空泵
旋片式真空泵是目前使用最廣，生產系列最全的泵種之一。
1．單級旋片泵結構與工作原理
如圖5所示，單級旋片泵只有一個工作室。泵主要由定子、旋片、轉子組成。在泵腔內偏心地裝有轉子，轉子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁(轉動后還有旋片離心力)。轉子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。
當轉子在定子腔內旋轉時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口一側的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。
排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。泵油通過油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內所有的運動表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。
2．雙級旋片泵的結構與工作原理
單級旋片泵一般極限壓力只能達到1.3Pa(個別可達0.1Pa)，為什么極限壓力不能再低呢？主要由于：
(1)泵的結構上存在有害空間(見圖6)，該空間中的氣體是無法排除的。當旋片轉過排氣口后，這一部分氣體又被壓縮，經過轉子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，所以每次總有些氣體排不盡。
(2)由于在泵工作時，泵腔的吸氣空間與排氣空間存在著一定的壓力差。當排氣空間的氣體被壓縮得很小時，它的壓力很高，會通過各種可能的途徑突破到吸氣空間去，使泵真空度下降。
(3)泵油在泵體內循環流動過程中會溶解進大量氣體和蒸氣。在吸氣側，因為壓力較低，溶解的氣體又會跑出來，使泵的真空度不易提高。
為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉子、旋片的加工精度，盡量減少裝配間隙和有害空間以外，最有效的辦法是將兩只單級泵串接起來，組成雙級泵。
圖7為雙級泵的工作原理圖。泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯，同向等速旋轉，A室是B室的前級，A是低真空級，B是高真空級。被抽氣體經高真空級(B室) 進入前級，由排氣閥排出泵外。前級(A)和單級泵一樣，隨時有油進入泵腔，而高真空級(B)僅在開始工作時存有少量的油，工作一段時間后，便沒有油進入泵腔了。當泵開始工作，且吸入氣體的壓力較高時(例如從大氣壓力開始抽氣)，氣體經B室壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥(1)排出，另一部分則經由前級排出。
當泵工作一段時間后，B室吸入的氣體壓力較低時，雖經B室的壓縮，壓力也達不到一個大氣壓以上，排不開輔助排氣閥(1)，則吸入的氣體全部進入前級A室，經A室的繼續壓縮，由排氣閥(3)排出。
泵工作一段時間后，由于高真空級進氣時壓力大大降低，其出口壓力也很小，這樣B室進出氣口的壓力差也較小，被壓縮氣體返回的數量也相應減少；同時，后級泵中易蒸發的油分子不斷被前級A室抽走，油蒸氣的分壓減少了，因而雙級泵的油污染比單級小，極限真空度將大大提高。目前的雙級旋片真空泵的極限壓力可達到10-2pa，國外有的泵可達到10-3Pa。
旋片式真空泵是目前使用最廣，生產系列最全的泵種之一。
1．單級旋片泵結構與工作原理
如圖5所示，單級旋片泵只有一個工作室。泵主要由定子、旋片、轉子組成。在泵腔內偏心地裝有轉子，轉子槽中裝有兩塊旋片，由于彈簧彈力作用而緊貼于缸壁(轉動后還有旋片離心力)。轉子和旋片將定子腔分成吸氣和排氣兩部分。
當轉子在定子腔內旋轉時周期性地將進氣口方面容積逐漸擴大而吸入氣體，同時逐漸縮小排氣口一側的容積將已吸入的氣體壓縮并從排氣閥排出。
排氣閥浸在油里以防止大氣流入泵中。泵油通過油孔及排氣閥進入泵腔，使泵腔內所有的運動表面被油覆蓋，形成了吸氣腔與排氣腔之間的密封。
2．雙級旋片泵的結構與工作原理
單級旋片泵一般極限壓力只能達到1.3Pa(個別可達0.1Pa)，為什么極限壓力不能再低呢？主要由于：
(1)泵的結構上存在有害空間(見圖6)，該空間中的氣體是無法排除的。當旋片轉過排氣口后，這一部分氣體又被壓縮，經過轉子與泵腔間的縫隙又回到吸氣空間，所以每次總有些氣體排不盡。
(2)由于在泵工作時，泵腔的吸氣空間與排氣空間存在著一定的壓力差。當排氣空間的氣體被壓縮得很小時，它的壓力很高，會通過各種可能的途徑突破到吸氣空間去，使泵真空度下降。
(3)泵油在泵體內循環流動過程中會溶解進大量氣體和蒸氣。在吸氣側，因為壓力較低，溶解的氣體又會跑出來，使泵的真空度不易提高。
為了提高泵的極限真空度，除了提高泵體、轉子、旋片的加工精度，盡量減少裝配間隙和有害空間以外，最有效的辦法是將兩只單級泵串接起來，組成雙級泵。
圖7為雙級泵的工作原理圖。泵由兩個工作室組成。兩室前后串聯，同向等速旋轉，A室是B室的前級，A是低真空級，B是高真空級。被抽氣體經高真空級(B室) 進入前級，由排氣閥排出泵外。前級(A)和單級泵一樣，隨時有油進入泵腔，而高真空級(B)僅在開始工作時存有少量的油，工作一段時間后，便沒有油進入泵腔了。當泵開始工作，且吸入氣體的壓力較高時(例如從大氣壓力開始抽氣)，氣體經B室壓縮，壓力急增，則被壓縮的氣體的一部分直接從輔助排氣閥(1)排出，另一部分則經由前級排出。
當泵工作一段時間后，B室吸入的氣體壓力較低時，雖經B室的壓縮，壓力也達不到一個大氣壓以上，排不開輔助排氣閥(1)，則吸入的氣體全部進入前級A室，經A室的繼續壓縮，由排氣閥(3)排出。
泵工作一段時間后，由于高真空級進氣時壓力大大降低，其出口壓力也很小，這樣B室進出氣口的壓力差也較小，被壓縮氣體返回的數量也相應減少；同時，后級泵中易蒸發的油分子不斷被前級A室抽走，油蒸氣的分壓減少了，因而雙級泵的油污染比單級小，極限真空度將大大提高。目前的雙級旋片真空泵的極限壓力可達到10-2pa，國外有的泵可達到10-3Pa。
